スパッタリングによって表面から放出された原子を基盤上(製品)にコーティング膜をつくる目的です。いわゆる乾式めっきです。 Au Pt Ti Ni 等の金属物から、Al2O3 SiO2 等の酸化物まで、テスト装置なので色々な皮膜が基盤上にコーティングされます。
Copyright (C) 株式会社サンユー All Rights Reserved.